반도체·디스플레이 산업용 세라믹의 개발
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이성민 KICET 세라믹 소재는 반도체 및 디스플레이 제조장비에 광범위하게 적용되고 있다. 최근에는 메모리반도체, LCD 등의 분야이외에도 비메모리 반도체, OLED 산업에서 또한 세라믹의 중요성이 확대되고 있다. 따라서 식각율 위주의 전통적인 내플라즈마 소재의 개발에서 오염입자의 저감, 시즈닝시간 감소, 정전척, 히터와 같은 능동부품의 수명 향상 등에 영향을 끼치는 세라믹의 개발이 요구되고 있다. 이러한 세라믹의 개발에는 기존의 저식각율, 고밀도 소재의 개발이라는 방향에서 더욱 나아가 소재의 화학조성 및 마이크로 결함의 제어 뿐만 아니라 원자단위의 결함까지 같이 고려하여 소재의 개발이 이루어질 필요가 있다. 본 발표에서는 최근 산업동향 및 소재연구개발 결과를 바탕으로 반도체·디스플레이 산업용 세라믹의 미래개발 방향에 대하여 토의하고자 한다. |